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CGO系列高低温真空探针台可满足6 英寸样品测试,高真空结构可避免低温结霜、高温氧化等情况,保证测试准确性。可用于晶圆测试、 LED 测试、功率器件测试、光电测试、场晶体效应管测试等不同产品和应用场景,亦可升级做射频测试。

名称:CGO高低温真空探针台
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CGO系列高低温真空

探针台

 

高低温真空探针台.png

 产品介绍

高低温真空探针台.png

 1.1 功能介绍

 

CGO系列高低温真空探针台可满足6 英寸样品测试,高真空结构可避免低温结霜、高温氧化等情况,保证测试准确性。可用于晶圆测试、 LED 测试、功率器件测试、光电测试、场晶体效应管测试等不同产品和应用场景,亦可升级做射频测试。

 

1.2 技术参数

 

型号

基本参数

CGO-2CGO-4CGO-6
腔体样品台尺寸

2英寸

4英寸

6英寸

样品固定

弹簧压片

观察窗口

2英寸

4英寸

6英寸

真空度

10-5torr

探针臂接口

最多4个探针臂接口

最多6个探针臂接口

其他接口

电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口

温控系统

制冷方式

液氮/液氣/制冷机

温度范围

77K  573K/4.5K  573K

温控精度

0.1K/0.01K/0.001K

稳定性

±1K/±0.1K/±0.01K

显微镜

显微镜类型

单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜

放大倍率

16X-200X/20X-4000X

移动行程

水平360度旋转,Z轴行程50.8mm

光源

外置LED环形光源/同轴光源

CCD

200万像素/500万像素/1200万像素

探针臂

X-Y-Z移动行程

50mm*50mm*50mm

结构

外置探针臂,真空波纹管结构

移动精度

10微米/I微米

探针夹具

线缆

同轴线/三轴线/射频线

漏电精度

10pA/100fA/10fA

固定探针

弹簧固定/管状固定

接头类型

BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子

探针

频率支持

DC-110GHz

针尖直径

0.2微米/I微米/2微米/5微米/10微米/20微米

材质

钨钢/铍铜

真空组件

分子泵组/机械泵/离子泵

冷源组件

50L/100L液氮罐/液氮罐/制冷机

外形

880mm *880mm *600mm 

980mm *980mm *600mm 

重量

100千克

120千克

可选附件

超高温配件

屏蔽箱

高压测试配件

显示器

光学平台

分子泵组

转接头

镀金卡盘

激光系统

射频测试配件

光电测试配件

气敏测试配件

根据客户要求定制



应用案例:


北京师范大学CGO探针台.png华为OCG高低温探针台.png南科大CGO高低温真空探针台.png
中国石油大学CGO高低温真空探针台.png西南交通大学OCG高低温真空探针台.png南方科技大学OCG高低温真空探针台.png